气体传感器芯片可以用于检测和测量空气中特定气体浓度，它们在许多领域中都有着广泛的应用，包括环境监测、工业生产、医疗保健、安全检测等。目前，气体传感器的应用日趋广泛，在物联网等泛在应用的推动下，其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。

在佛山高新区南海园就有一家落户不到两年的高新企业——广东迈能欣科技有限公司（以下简称：迈能欣），研发了多种MEMS气体传感器芯片和相关气体纳米材料，其研发水平对标国际头部品牌，多项研究走在全国前列，运营的第一年产值达1000多万元，产能迅速进入发展爬坡阶段。

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迈能欣生产车间。佛山市新闻传媒中心记者/仇嘉辉 摄

近日，其高技术产业化创业团队项目——车规级MEMS气体传感芯片、传感器及系统的研究和产业化拿到了南海园90万元扶持奖励。

引领技术创新

研发传感器“mini”型产品

“我们刚到这里的时候，这个项目还在研发中，目前项目已经进入了量产阶段了。”迈能欣董事长李威说的“这个项目”就是“车规级MEMS气体传感芯片、传感器及系统的研究和产业化”。

今年6月，迈能欣佛山总部兼制造中心的生产车间投入使用。在车间里，迈能欣工艺工程师坐在生产线工位上可以通过像素高达5000万的显微镜，检查BAS气溶胶传感器上的焊点。“电池作为新能源汽车的动力来源，电池安全是关键，针对动力电池热失控风险，BAS气溶胶传感器可以安装进新能源汽车电池包内，对电池安全进行监测，灵敏度非常高。”该工程师介绍。记者在现场看到，由各电子元器件和黑色外壳组装构成的BAS气溶胶传感器非常小巧，体积仅约20立方厘米。

据了解，MEMS技术是将集成电路制造技术与硅加工技术结合在一起的新型芯片制造技术。随着工业生产和科学研究对传感器性能要求的逐渐提升，MEMS传感器尺寸较小，现行的MEMS传感器尺寸基本都达到了毫米级水平，更适应当前电子机械设备向着紧凑型、迷你型发展的总体趋势。

与传统的传感器制造相比，MEMS技术工艺流程简化，且所需的劳动力更少。另外，MEMS器件的主要材料是硅，令MEMS制造非常经济高效，因此利润非常可观，成为高附加值产业。

“在国内，我们的技术应该是走得最快的了。”李威介绍，公司致力于自研芯片，专攻“卡脖子”问题，芯片对标国外该领域的头部企业，在同等性能条件下，具备显著的成本优势，产品的综合竞争力，可以说是同行中的“冠军”，实现国产替代前景斐然。

专注研发核心技术

收获多个大客户

从2013年开始研发MEMS和纳米材料，到2023年BAS气溶胶传感器、BPS电池包压力传感器、AQS、CO2、香氛产品投入量产，迈能欣经多年沉淀积累，处于行业领先水平，解决了多项“卡脖子”问题，拥有多项专利，也由此收获不少大客户，拿下了大量订单。

据介绍，其多项专利主要包含2大核心技术：MEMS芯片和纳米材料，在材料学上延伸到气体处理材料和氢气产生材料。

在传感器领域，经过多年的研发累积，迈能欣已经能够自主生产气溶胶气体传感器（BAS）、热失控压力传感器（BPS），空气质量传感器及系统(AQS)，二氧化碳传感器(CO2)，氢气传感器等多种气体传感器。而在材料技术领域，基于纳米材料的新一代车载香氛系统、车载香氛杀菌系统、去甲醛产品，以及杀菌消毒材料，应用于汽车市场和家居领域。其中，纳米材料技术未来可延展到制氢储氢领域。

在核心技术加持下，迈能欣的产品拥有显著的成本性能竞争力和广阔的市场前景。据了解，迈能欣围绕“MEMS技术+纳米材料技术+光学+核心算法”，护航新能源汽车安全，推进双碳目标，与多家知名主流的主机厂项目达成合作，并与汽车行业和工业控制领域多家客户展开深度交流和项目推进。

“技术优势得到市场青睐，很快就拿到客户订单，当时客户因交付需求需要更快拿到产品，我们采取委托代工厂生产和导入自有产线并行的方式，确保订单交付，5月下旬，我们佛山总部兼制造中心的生产车间就进入了试生产。”李威表示，截至5月中旬，已经累计交付了10000多个传感器，预计今年销售额实现翻番。

“平台+政策”带动

政府诚意吸引更多创业团队

“在来南海之前，其实珠海、合肥、苏州等都邀请过我们，我也都去走访调研过。”李威说，调研的主要方向是看哪个地方更适合落户，由于公司合伙人和中科院苏州纳米所联系紧密，在位于佛山高新区南海园的广东中科半导体微纳制造技术研究院介绍下，来到了南海。

在李威的“亲身体验”中，他认为当地政府的诚意十足。“南海园专业且高效，我们没有花费太多时间精力在流程上，落户非常顺利迅速。”李威说。迈能欣还在南海享有双重落户补贴支持，不仅佛山高新区给予了500万元高新技术产业化创业团队落户专项引导资金补贴，南海园也叠加了高技术产业化创业团队项目落户奖励。

目前，迈能欣苏州芯片研发中心、武汉产品研发中心、佛山总部兼制造中心共同形成多基地布局，覆盖长三角、珠三角和中部地区。其总部所在的佛山人才创新灯塔产业园，是佛山“十大创新引领型特色制造业园区”中的中部创新强核主力军，承担着佛山加快推进高水平科技创新的使命。未来5至10年，这里要建设一批研发总部、孵化平台、科研中心等高端载体，重点发展半导体与集成电路、人工智能、新材料、数字经济产业，打造“三链”融合发展的新标杆、战新产业培育的新典范。

李威表示，相信落户这里，迈能欣定能把握更多机遇，在传感器芯片领域不断做强做大。

文/佛山市新闻传媒中心记者 彭燕燕 通讯员 何汝莦 唐伟麦 凯楹